- 超低温制冷设备水汽捕集泵
详细信息
品牌:德馨永佳 型号:ZK-1100D12 加工定制:否 类型:生产用制冷设备 用途:提高真空度,快速降温 外形尺寸:750*930*1655 重量:350 kg 应用范围:真空镀膜,光学镀膜等
真空深冷机又称快速循环水汽深冷泵、polycold超低温捕集泵、超低温冷凝排气机等。
永佳真空深冷机采用先进的单机自复叠制冷系统,压缩机、控制器等大部分部件均选用进口国际*品牌,采用无氟环保绿色制冷剂,能替代液氮,节约成本,具有制冷降温快、系统运行稳定、高效低耗,维护方便等特点。
工作原理:
在使用油扩散泵、分子泵抽真空的过程中,空间中80%以上的残余气体是水蒸气、油蒸气以及一些高沸点的蒸汽,这类残余气体在高真空状态下,抽取难度大、速度慢,而且残余气体的存在不仅会影响真空度也会污染生产实验工件,深冷机可有效解决这类问题, 在真空度 10-2 至 10-8 pa 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气,提高真空度、提高产品品质,加快抽速提高生产效率。
在真空室中或油扩散泵的泵口,放置一个能迅速达到-120℃以下的制冷装置(盘管或冷阱),通过其表面的深低温冷凝能力,迅速将真空腔体内的残余气体附着,从而大大缩短抽真空的时间(可缩短50-80%的抽气时间)、获得洁净的真空环境(真空度可提高半个数量级,达到10-8 Torr、10-5 Pa)。
永佳真空深冷机适用领域:
1半导体 2太阳能薄膜制程 3光纤市场 4平板显示 5装饰镀膜、卷绕镀膜、光学镀膜 -
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